Reinräume für den Industriezweig Micro-Elektronik

Bevor man in das Thema "Reinraum-Arbeitsplätze in der Micro-Elektronik-Branche" eintaucht ist es sinnvoll, erst einmal die 2 Begriffe "Reinraum" und "Micro-Elektronik" zu hinterleuchten.
Laut Definition ist ein Reinraum ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen, Partikel oder Keime sehr gering gehalten wird. Der Reinraum wird so konstruiert, dass die Anzahl der Teilchen, die in den Raum eingebracht werden bzw. die dort entstehen, so gering wie möglich ist. Der Reinraum sorgt konsequent für stabile, konstante und kontrollierbare Temperatur-, Luftfeuchtigkeit- und Druckbedingungen.

Die "Micro-Elektronik" ist ein Fachbereich der Elektronik – bzw. präziser gesagt der Halbleiter- und Mikrotechnik. Sie beschäftigt sich mit der Entwicklung und der Herstellung von elektronischen Schaltungen. Diese sind in der Regel sehr klein und werden in andere elektronische Bauelemente integriert. Sie sind sehr empfindlich und müssen darum mit höchster Präzision hergestellt, behandelt, weiterverarbeitet und vor äußeren Einflüssen geschützt werden.

Warum werden die 2 Begriffe zusammen gebracht? Eigentlich ganz klar: Weil – wie oben beschrieben – ein Halbleiter sehr empfindlich und sensibel ist. Und da der Reinraum einen guten Schutz vor äußeren Einflüssen bietet. Darum also werden Reinräume für spezielle Fertigungsverfahren, vor allem in der Halbleiterfertigung – also bei der Micro-Elektronik, benötigt.

Auch in anderen Bereichen, wie zum Beispiel in der Medizintechnik, im Gesundheitswesen, in der Mikrosystemfertigung und der Optik- und Lasertechnologie sind Reinräume nötig. Wir möchten uns hier aber auf die Micro- Elektronik-Branche konzentrieren.

Reinräume in der Micro-Elektronik haben mehrere hierarchische Bereiche mit jeweils spezifischer Reinraumklasse. Die Einteilungen der Klassen werden in DIN Richtlinien (z.B. DIN EN ISO 14644-1) definiert. Der so genannte Reinstraum ist in der Klasse 10 oder besser. Es gibt spezielle Reinraumbekleidung, Arbeitsmittel, Werkzeuge und Einrichtungsgegenstände – wie Stühle und Tische, die dafür Sorge tragen, die Reinraumklasse einzuhalten. Da der Mensch in der Regel die größte Quelle für Partikel bzw. andere Verschmutzung ist, erfolgt der Reinstraumzugang meist über eine Folge verschiedener Reinraumbereiche mit fallender Reinraumklasse und über Personal- und Materialschleusen. In denen durch starke Luftströmung und Filtersysteme vorhandene Partikel aufgewirbelt und dann abgesaugt werden, damit keine Verunreinigungen von außerhalb eingetragen werden. Alle Materialien und Einrichtungsgegenstände, die in Reinräumen eingesetzt werden, müssen abriebfeste Oberflächen besitzen.

Konzentriert man sich auf einen Einrichtungsgegenstand – z.B. auf den Arbeitsstuhl – kann man an diesem Beispiel aufzeigen, welche Anforderungen an Arbeitmittel im Reinraum gestellt werden. Alle verwendeten Materialien müssen reinraumgerecht sein. Soviel ist klar. Zusätzlich müssen alle Flächen glatt und geschlossen sein. Die Stuhlmechanik muss gekapselt sein und alle Materialien müssen elektrostatisch ableitfähig sein. Die Polster von Rückenlehne und Sitzfläche müssen versiegelt und durch Hinterschäumtechnik fest mit dem Polster-Träger verbunden sein. Als Fazit gilt: Nur ein emissionsfreier Stuhl sorgt im Reinraum für entspanntes Sitzen.

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